一、项目编号：GZGK21P217A0659Z

二、项目名称：广东省科学院半导体研究所TSV刻蚀机设备采购项目

三、采购结果

合同包1(TSV刻蚀机):

供应商名称	供应商地址	中标（成交）金额
北京北方华创微电子装备有限公司	北京市北京经济技术开发区文昌大道8号	3,400,000.00元

四、主要标的信息

合同包1(TSV刻蚀机):

货物类

品目号	品目名称	采购标的	品牌	规格型号	数量（单位）	单价(元)	总价(元)
1	电子工业专用生产设备	TSV刻蚀机	HSE M200	深硅刻蚀	1(台)	3,400,000.00	3,400,000.00

五、评审专家（单一来源采购人员）名单：

刘文红、陈颂良、黄立新、张以科、刘宁炀（采购人代表）

六、代理服务收费标准及金额：

代理服务费收费标准：

本项目的招标代理服务费收费标准以采购预算金额为计算基数参照国家计委颁布的（计价格【2002】1980号）及国家发改委颁布的（发改办价格【2003】857号）的标准下浮20%进行收取。

代理服务费金额：

合同包1(TSV刻蚀机)：3.3560万元。收取对象：中标（成交）供应商。

七、公告期限

自本公告发布之日起1个工作日。

八、其他补充事宜

合同包1(TSV刻蚀机):

供应商	资格性审查	符合性审查	技术得分	商务得分	价格得分	综合得分	得分排名	推荐排名
北京北方华创微电子装备有限公司	通过	通过	44.00	3.00	30.00	77.00	1	1
天津力能机械制造有限公司	通过	通过	34.30	1.00	29.74	65.04	2	2
深圳市益智科技服务有限公司	通过	通过	16.90	0.00	29.57	46.47	3

九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。

1.釆购人信息

名  称：广东省科学院半导体研究所

地  址：广州市天河区长兴路363号

联系方式：020-61086420

2.釆购代理机构信息

名  称：广州市国科招标代理有限公司

地  址：广州市先烈中路100号科学院大院9号楼东座2楼（中国广州分析测试中心对面）

联系方式：020-37814404、020-87687651

3.项目联系方式

项目联系人：吕小姐、苏先生

电  话：020-37814404、020-87687651

广州市国科招标代理有限公司

2021年12月15日

相关附件：
合同包 1：报价明细附件（北京北方华创微电子装备有限公司）.pdf